(57) Bei einem Mikroventil (10) mit einer Auflagestruktur (12), einer Durchlaßöffnung
(13), durch die Auflagestruktur (12), und einer mechanisch vorgespannten, zumindest
einseitig befestigten Ventilklappe (11), die in ihrem unbetätigten Zustand von der
Auflagestruktur (12) weggebogen ist und die Durchlaßöffnung (13) öffnet und in ihrem
betätigten Zustand an der Auflagestruktur (12) anliegt und die Durchlaßöffnung (13)
verschließt, ist eine elektrisch isolierende Beschichtung (17) vorgesehen, die auf
der der Auflagestruktur (12) zugewandten Seite der Ventilklappe (11) angeordnet ist
und die Ventilklappe (11) mechanisch vorspannt. Die Beschichtung (17) liegt im Bereich
der Befestigung der Ventilkappe (11) auf der Auflagestruktur auf, um die Ventilklappe
(11) elektrisch von der Auflagestruktur (12) zu isolieren.
|

|