(19)
(11) EP 0 829 649 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
04.11.1998  Patentblatt  1998/45

(43) Veröffentlichungstag A2:
18.03.1998  Patentblatt  1998/12

(21) Anmeldenummer: 97113980.3

(22) Anmeldetag:  13.08.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)6F15C 5/00
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV RO SI

(30) Priorität: 17.09.1996 DE 19637878

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • Richter, Martin, Dipl.-Phys.
    81675 München (DE)

(74) Vertreter: Schoppe, Fritz, Dipl.-Ing. et al
Schoppe & Zimmermann Patentanwälte Postfach 71 08 67
81458 München
81458 München (DE)

   


(54) Mikroventil mit vorgespannter Ventilklappenstruktur


(57) Bei einem Mikroventil (10) mit einer Auflagestruktur (12), einer Durchlaßöffnung (13), durch die Auflagestruktur (12), und einer mechanisch vorgespannten, zumindest einseitig befestigten Ventilklappe (11), die in ihrem unbetätigten Zustand von der Auflagestruktur (12) weggebogen ist und die Durchlaßöffnung (13) öffnet und in ihrem betätigten Zustand an der Auflagestruktur (12) anliegt und die Durchlaßöffnung (13) verschließt, ist eine elektrisch isolierende Beschichtung (17) vorgesehen, die auf der der Auflagestruktur (12) zugewandten Seite der Ventilklappe (11) angeordnet ist und die Ventilklappe (11) mechanisch vorspannt. Die Beschichtung (17) liegt im Bereich der Befestigung der Ventilkappe (11) auf der Auflagestruktur auf, um die Ventilklappe (11) elektrisch von der Auflagestruktur (12) zu isolieren.







Recherchenbericht