(19)
(11)
EP 0 830 587 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
25.03.1998
Patentblatt 1998/13
(21)
Anmeldenummer:
96917501.0
(22)
Anmeldetag:
05.06.1996
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
G01B
11/
00
( . )
G01N
21/
59
( . )
G01N
21/
27
( . )
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1996/002445
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1996/039621
(
12.12.1996
Gazette 1997/02)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT CH DE ES FR GB IT LI SE
(30)
Priorität:
06.06.1995
DE 19951020606
(71)
Anmelder:
BOEHRINGER MANNHEIM GMBH
68298 Mannheim (DE)
(72)
Erfinder:
TRABER, Bruno
CH-8810 Horgen (CH)
(54)
VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN UNTERSUCHUNG VON OBERFLÄCHEN