(19)
(11) EP 0 830 587 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.03.1998  Patentblatt  1998/13

(21) Anmeldenummer: 96917501.0

(22) Anmeldetag:  05.06.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 11/ 00( . )
G01N 21/ 59( . )
G01N 21/ 27( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1996/002445
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1996/039621 (12.12.1996 Gazette  1997/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT CH DE ES FR GB IT LI SE

(30) Priorität: 06.06.1995 DE 19951020606

(71) Anmelder: BOEHRINGER MANNHEIM GMBH
68298 Mannheim (DE)

(72) Erfinder:
  • TRABER, Bruno
    CH-8810 Horgen (CH)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN UNTERSUCHUNG VON OBERFLÄCHEN