(19)
(11) EP 0 830 590 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.03.1998  Patentblatt  1998/13

(21) Anmeldenummer: 96915992.0

(22) Anmeldetag:  04.06.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 27/ 333( . )
G01N 27/ 414( . )
 G01N 27/ 403( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1996/001021
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1996/039624 (12.12.1996 Gazette  1997/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE FR GB LI NL SE

(30) Priorität: 06.06.1995 DE 19951020059
12.08.1995 DE 19952012999U

(71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHÖNING, Michael, Josef
    D-52428 Jülich (DE)
  • ZANDER, Willi
    D-52457 Aldenhoven (DE)
  • SCHUBERT, Jürgen
    D-50189 Elsdorf (DE)
  • BECKERS, Lutz
    D-50968 Köln (DE)
  • SCHAUB, Axel, Michael
    D-52070 Aachen (DE)
  • KORDOS, Peter
    D-52428 Jülich (DE)
  • LÜTH, Hans
    D-52076 Aachen (DE)

   


(54) PH-SENSITIVER MIKROSENSOR, SOWIE VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG