(19)
(11)
EP 0 835 522 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
15.04.1998
Patentblatt 1998/16
(21)
Anmeldenummer:
96946052.0
(22)
Anmeldetag:
07.12.1996
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
H05K
3/
46
( . )
H01L
23/
498
( . )
H01L
21/
48
( . )
H05K
1/
09
( . )
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1996/002348
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1997/040529
(
30.10.1997
Gazette 1997/46)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT
(30)
Priorität:
20.04.1996
DE 19961015787
(71)
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)
(72)
Erfinder:
GOEBEL, Ulrich
D-72760 Reutlingen (DE)
ROETHLINGSHOEFER, Walter
D-72766 Reutlingen (DE)
(54)
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES KERAMISCHEN MULTILAYER-SUBSTRATS