(19)
(11) EP 0 835 522 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.04.1998  Patentblatt  1998/16

(21) Anmeldenummer: 96946052.0

(22) Anmeldetag:  07.12.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05K 3/ 46( . )
H01L 23/ 498( . )
H01L 21/ 48( . )
H05K 1/ 09( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1996/002348
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1997/040529 (30.10.1997 Gazette  1997/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 20.04.1996 DE 19961015787

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • GOEBEL, Ulrich
    D-72760 Reutlingen (DE)
  • ROETHLINGSHOEFER, Walter
    D-72766 Reutlingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES KERAMISCHEN MULTILAYER-SUBSTRATS