......DE....FRGB..IT....NL..........................................................................*EPregister to ST.36 EBD process v 1.0 kbaumeister@epo.org (15 Jan 2013)0836719A119980422EP96919439.01996060519980102enenen1995US0764919950605WO19950018104P19950707US19960017828P19960308US1998042219981719980422199817

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enSYSTEM AND METHOD FOR ON-SITE MIXING OF ULTRA-HIGH-PURITY CHEMICALS FOR SEMICONDUCTOR PROCESSINGfrSYSTEME ET PROCEDE DE MELANGE IN SITU DE PRODUITS CHIMIQUES A PURETE ULTRAELEVEE POUR L'ELABORATION DE SEMI-CONDUCTEURSdeVERFAHREN UND SYSTEM ZUM ÖRTLICHEN MISCHEN VON EXTREM HOCHREINEN CHEMIKALIEN FÜR DIE HALBLEITERHERSTELLUNGSTARTEC VENTURES, INC.1327 Ferrand RoadFallbrook, CA 92028USHOFFMAN, Joe G.Suite F, 2140 Orinda DriveCardiff, CA 92007USCLARK, R., Scot1327 Farrand RoadFallbrook, CA 92028USJONES, Allen, H., Jr.11960 N. 1112th StreetScottsdale, AZ 85259USVesin, Jacques, et alL'AIR LIQUIDE, S.A., Service Propriété Industrielle, 75 quai d'Orsay75321 Paris Cédex 07FRDEFRGBITNLUS199601038919960605enWO199603965119961212199702