(19)
(11) EP 0 842 527 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.05.1998  Patentblatt  1998/21

(21) Anmeldenummer: 96927550.0

(22) Anmeldetag:  19.07.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01L 21/ 34( . )
H01J 41/ 06( . )
H01J 49/ 10( . )
 H01J 27/ 04( . )
H01J 41/ 20( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1996/003185
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1997/005645 (13.02.1997 Gazette  1997/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IT LI

(30) Priorität: 02.08.1995 DE 19951028314

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • GERDAU, Ludolf
    50189 Elsdorf (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) IN DER VAKUUMTECHNIK EINSETZBARES GERÄT MIT ELEKTRODEN FÜR EINE GASENTLADUNG