(19)

(11)

EP 0 842 542 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 20.05.1998  Patentblatt  1998/21 (21) Anmeldenummer: 96931731.0 (22) Anmeldetag:  01.08.1996

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/ 778( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1996/001427 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/005661 (13.02.1997 Gazette  1997/08)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 01.08.1995 DE 19951028238 (71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 80636 München (DE)	(72) Erfinder: BACHEM, Karl-Heinz D-79199 Kirchzarten (DE) EASTMAN, Lester, F. Ithaca, NY 14850 (US) (74) Vertreter: Münich, Wilhelm, Dr.  Münich-Rösler Anwaltskanzlei, Wilhelm-Mayr-Strasse 11 80689 München 80689 München (DE)