(19)
(11) EP 0 844 395 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
10.01.2001  Patentblatt  2001/02

(43) Veröffentlichungstag A2:
27.05.1998  Patentblatt  1998/22

(21) Anmeldenummer: 97119955.9

(22) Anmeldetag:  14.11.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04B 43/04, F04B 53/10
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 25.11.1996 DE 19648694

(71) Anmelder: Vermes Mikrotechnik GmbH
99097 Erfurt (DE)

(72) Erfinder:
  • Heun, Peter
    99099 Erfurt (DE)
  • Klingner, Holger
    99096 Erfurt (DE)

(74) Vertreter: Enders, Hans 
Nordstrasse 10
99195 Grossrudestedt
99195 Grossrudestedt (DE)

   


(54) Bidirektionale dynamische Mikropumpe


(57) Bidirektionale dynamische Mikropumpe für kleine Flüssigkeitsmengen, die mit einfachen Mitteln den Fluidstrom in Menge und Richtung variiert.
Die auf einem gemeinsamen (100) orientierten Si-Wafer durch anisotropes Ätzen eingebrachten Strukturen von Pumpkammer und zweier unterschiedlicher Kanäle ist gekennzeichnet durch unterschiedliche Geometrie dieser Kanäle, die nichtlineare Strömungswiderstände darstellen und zwischen einer laminaren und einer turbulenten Strömung gesteuert werden. Durch Umkehr des Impulses, der vorzugsweise die Form eines Sägezahnes besitzt, wird ein Richtungswechsel der Fluidströmung erreicht.






Recherchenbericht