(19)

(11)

EP 0 850 489 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 01.07.1998  Patentblatt  1998/27 (21) Anmeldenummer: 96934387.0 (22) Anmeldetag:  28.08.1996

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 60( . ) H01L 23/ 485( . ) H01L 21/ 68( . ) H05K 3/ 34( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1996/001592 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/009739 (13.03.1997 Gazette  1997/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: BE CH DE FR GB LI NL SE (30) Priorität: 08.09.1995 DE 19951033169 (71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 80636 München (DE)	(72) Erfinder: WOLF, Jürgen D-13351 Berlin (DE) CHMIEL, Gerhard D-48249 Dülmen (DE) (74) Vertreter: Böck, Bernhard, Dipl.-Ing., et al  Patentanwälte, Böck + Tappe Kollegen, Egloffsteinstrasse 7 97072 Würzburg 97072 Würzburg (DE)