(19)
(11) EP 0 851 477 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
10.02.1999  Patentblatt  1999/06

(43) Veröffentlichungstag A2:
01.07.1998  Patentblatt  1998/27

(21) Anmeldenummer: 97440136.6

(22) Anmeldetag:  17.12.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)6: H01L 21/66
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 19.12.1996 DE 19652974

(71) Anmelder: ALCATEL ALSTHOM COMPAGNIE GENERALE D'ELECTRICITE
75008 Paris (FR)

(72) Erfinder:
  • Hehmann, Jörg
    70499 Stuttgart (DE)

(74) Vertreter: Knecht, Ulrich Karl, Dipl.-Ing. et al
Alcatel Alsthom Intellectual Property Department, Postfach 30 09 29
70449 Stuttgart
70449 Stuttgart (DE)

   


(54) Verfahren zur Kontrolle der Genauigkeit beim mehrstufigen Ätzen


(57) Es ist ein Verfahren zur Kontrolle der Genauigkeit des Bearbeitungsergebnisses bei der Herstellung von Vertiefungen in einem Substrat durch mehrstufiges Ätzen angegeben. Die Kontrolle ist auf einfache Weise dadurch möglich, daß auf den Ätzmasken Strichmuster angebracht sind. Die Strichmuster auf den Ätzmasken für verschiedene Ätzstufen sind verschieden und bilden ein Noniussystem.






Recherchenbericht