HALBLEITERBAUELEMENT MIT DURCH IONENIMPLANTATION EINGEBRACHTEN FREMDATOMEN UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG - Patent 0856196

(19)

(11)

EP 0 856 196 A1

(12)

(43)	Veröffentlichungstag:
	05.08.1998 Patentblatt 1998/32

(21)	Anmeldenummer: 97934524.0

(22)	Anmeldetag: 23.07.1997

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 21/ 265^{( . )}

H01L 21/ 04^{( . )}

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP1997/003981

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 1998/008247 (26.02.1998 Gazette 1998/08)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE FR GB IT

(30)

Priorität:

17.08.1996 DE 19961033184

(71)	Anmelder: DAIMLER-BENZ AKTIENGESELLSCHAFT
	70567 Stuttgart (DE)

(72)	Erfinder:
	WONDRAK, Wolfgang D-60385 Frankfurt (DE) LAUER, Vera D-64347 Griesheim (DE) KAMINSKI, Nando D-64546 Mörfelden-Walldorf (DE) HELD, Raban D-63776 Mömbris (DE) PENSL, Gerhard D-91074 Herzogenaurach (DE) SHEPPARD, Scott, T. Durham, NC 27705 (US)

(74)	Vertreter: Maute, Hans-Jürgen, Dipl.-Ing.
	Daimler-Benz AG, Intellectual Property Management, Postfach 35 35 74025 Heilbronn 74025 Heilbronn (DE)

(54)	HALBLEITERBAUELEMENT MIT DURCH IONENIMPLANTATION EINGEBRACHTEN FREMDATOMEN UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG