(19)

(11)

EP 0 856 200 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.08.1998  Patentblatt  1998/32 (21) Anmeldenummer: 96934433.0 (22) Anmeldetag:  18.10.1996

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/ 06( . ) H01L 29/ 739( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1996/001991 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/015080 (24.04.1997 Gazette  1997/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT (30) Priorität: 19.10.1995 DE 19951039021 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: OPPERMANN, Klaus-Günter D-83607 Holzkirchen (DE)