(19)
(11) EP 0 856 868 A3

(12) DEMANDE DE BREVET EUROPEEN

(88) Date de publication A3:
30.09.1998  Bulletin  1998/40

(43) Date de publication A2:
05.08.1998  Bulletin  1998/32

(21) Numéro de dépôt: 98201095.1

(22) Date de dépôt:  24.04.1995
(51) Int. Cl.6: H01J 9/02, H01J 1/30
(84) Etats contractants désignés:
DE GB IT

(30) Priorité: 25.04.1994 FR 9404948
22.11.1994 FR 9413972

(62) Numéro de dépôt de la demande initiale en application de l'article 76 CBE:
95400910.6 / 0689222

(71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • Meyer, Robert
    38330 Saint Nazaire Les Eymes (FR)
  • Vaudaine, Pierre
    38100 Seyssins (FR)
  • Rambaud, Philippe
    38640 Claix (FR)

(74) Mandataire: Dubois-Chabert, Guy et al
c/o BREVATOME 25, rue de Ponthieu
75008 Paris
75008 Paris (FR)

 
Remarques:
Cette demande a été déposée le 07 - 04 - 1998 comme demande divisionnaire de la demande mentionnée sous le code INID 62.
 


(54) Procédé de réalisation de sources d'électrons à micropointes et source d'électrons à micropointes obtenue par ce procédé


(57) Source d'électrons à micropointes comportant un système de conducteurs cathodiques (8), de grilles (10a) superposées avec un isolant intermédiaire (23) et de micropointes (18) déposées dans des trous (16) pratiqués dans les grilles et l'isolant, les grilles étant géométriquement comprises entre un plan inférieur (I) et un plan supérieur (S), les micropointes comportant respectivement au moins deux parties :
  • une première partie (20) de forme tronconique, de hauteur H, et constituée d'un premier matériau conducteur,
  • une deuxième partie (22), constituant une pointe conique déposée sur la première partie et étant constituée d'un second matériau conducteur,
le premier et le second matériau étant choisis de façon à ce que le second matériau soit apte à être affiné par une gravure sélective par rapport au premier matériau.






Rapport de recherche