(19)
(11) EP 0 857 876 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.07.1999  Patentblatt  1999/27

(43) Veröffentlichungstag A2:
12.08.1998  Patentblatt  1998/33

(21) Anmeldenummer: 98100358.5

(22) Anmeldetag:  12.01.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)6: F04D 27/02, F04D 19/04
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 05.02.1997 DE 19704234

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Conrad, Armin
    35745 Herborn-Hörbach (DE)

   


(54) Verfahren und Vorrichtung zur Regelung des Saugvermögens von Vakuumpumpen


(57) Die Erfindung beschreibt ein Verfahren und eine Vorrichtung, durch welche Prozesse in Vakuumkammern in ihrem Ablauf positiv beeinflußt werden können. Bei einer Va-kuumpumpe (1) bestehend aus einer oder mehreren Stufen (2a, 2b, 2c) kann ein Teil des Gasstromes über eine Verbindungsleitung (8) und ein Regelventil (9) dem Ansaugflansch wieder zugeführt werden. Dadurch erhöht sich der Druck auf der Ansaugseite und das Saugvermögen für das abzupumpende Gas sinkt ab. Eine exakte und direkte Regelung des Saugvermögens der Vakuumpumpe ist somit möglich.






Recherchenbericht