(19)

(11)

EP 0 860 021 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 26.08.1998  Patentblatt  1998/35 (21) Anmeldenummer: 96934699.0 (22) Anmeldetag:  16.10.1996

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B01D 53/ 26( . ) H01L 21/ 205( . ) H01L 21/ 306( . ) H01L 21/ 00( . ) H01L 21/ 304( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1996/004487 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/017722 (15.05.1997 Gazette  1997/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT DE FR (30) Priorität: 07.11.1995 DE 19951041436 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: POKORNY, Joachim D-78183 Hüfingen (DE) (74) Vertreter: Wagner, Karl H., Dipl.-Ing., et al  WAGNER & GEYER Patentanwälte Gewürzmühlstrasse 5 80538 München 80538 München (DE)