(19)

(11)

EP 0 861 338 A1

(12)

(43) Date de publication: 02.09.1998  Bulletin  1998/36 (21) Numéro de dépôt: 96934312.0 (22) Date de dépôt:  12.11.1996

(51) Int. Cl.:  C23C 8/ 10( . ) C23C 16/ 452( . ) C23C 8/ 36( . ) H01L 21/ 3065( . ) (86) Numéro de dépôt: PCT/CH1996/000400 (87) Numéro de publication internationale: WO 1997/018344 (22.05.1997 Gazette  1997/22)

(84) Etats contractants désignés: CH DE ES FR GB IT LI NL (30) Priorité: 13.11.1995 CH 19950003207 (71) Demandeur: IST Instant Surface Technology S.A. 1442 Montagny-près-Yverdon (CH)	(72) Inventeurs: KOULIK, Pavel CH-1401 Yverdon-les-Bains (CH) ZORINA, Evgenia CH-1401 Yverdon-les-Bains (CH) (74) Mandataire: Ganguillet, Cyril, et al  ABREMA Agence Brevets & Marques Ganguillet & Humphrey Avenue du Théâtre 16 Case postale 2065 1002 Lausanne 1002 Lausanne (CH)