(19)
(11) EP 0 862 662 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.09.1998  Patentblatt  1998/37

(21) Anmeldenummer: 96928307.0

(22) Anmeldetag:  06.09.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 8/ 36( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH1996/000307
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1997/019203 (29.05.1997 Gazette  1997/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT CH DE FR LI

(30) Priorität: 22.11.1995 FR 19950013843

(71) Anmelder: BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT
9496 Balzers (LI)

(72) Erfinder:
  • DINGREMONT, Norbert, Marie
    F-68100 Mulhouse (FR)
  • BERGMANN, Erich
    CH-4058 Basel (CH)
  • COLLIGNON, Pierre
    F-77500 Chelles (FR)

(74) Vertreter: Troesch Scheidegger Werner AG 
Patentanwälte, Siewerdtstrasse 95, Postfach
8050 Zürich
8050 Zürich (CH)

   


(54) VERFAHREN ZUR PLASMA-THERMOCHEMISCHEN OBERFLÄCHENBEHANDLUNG, ANLAGE HIERFÜR SOWIE VERWENDUNGEN DES VERFAHRENS BZW. DER ANLAGE