(19)
(11) EP 0 864 174 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.09.1998  Patentblatt  1998/38

(21) Anmeldenummer: 97943755.0

(22) Anmeldetag:  11.09.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 27/ 06( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1997/002038
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/013864 (02.04.1998 Gazette  1998/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 27.09.1996 DE 19961040005

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LELL, Alfred
    D-93142 Maxhütte-Haidhof (DE)

(74) Vertreter: Müller, Wolfram Hubertus, Dipl.-Phys., et al 
Patentanwälte Maikowski & Ninnemann, Postfach 15 09 20
10671 Berlin
10671 Berlin (DE)

   


(54) OPTOELEKTRONISCHE HALBLEITERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG