(19)
(11) EP 0 865 663 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.09.1998  Patentblatt  1998/39

(21) Anmeldenummer: 96937971.0

(22) Anmeldetag:  27.11.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05H 1/ 46( . )
C23C 16/ 505( . )
 C23C 16/ 50( . )
H01J 37/ 32( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH1996/000420
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1997/022136 (19.06.1997 Gazette  1997/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IE IT LI NL SE

(30) Priorität: 08.12.1995 CH 19950003477

(71) Anmelder: BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT
9496 Balzers (LI)

(72) Erfinder:
  • WEICHART, Jürgen
    FL-9496 Balzers (LI)

(74) Vertreter: Troesch Scheidegger Werner AG 
Patentanwälte, Siewerdtstrasse 95, Postfach
8050 Zürich
8050 Zürich (CH)

   


(54) HF-PLASMABEHANDLUNGSKAMMER BZW. PECVD-BESCHICHTUNGSKAMMER, DEREN VERWENDUNGEN UND VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON SPEICHERPLATTEN