(19)
(11) EP 0 865 668 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.09.1998  Patentblatt  1998/39

(21) Anmeldenummer: 96945743.0

(22) Anmeldetag:  21.11.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 23/ 32( . )
H01L 23/ 34( . )
 H01L 21/ 60( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1996/002218
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1997/022138 (19.06.1997 Gazette  1997/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB LI

(30) Priorität: 09.12.1995 DE 19951046045

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • HAUG, Ralf
    D-71229 Leonberg (DE)

   


(54) FLIP-CHIP-VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MULTICHIP-MODULS