(19)
(11) EP 0 865 669 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.09.1998  Patentblatt  1998/39

(21) Anmeldenummer: 96945730.0

(22) Anmeldetag:  18.11.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/ 28( . )
H01L 27/ 092( . )
 H01L 21/ 8238( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1996/002189
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1997/021240 (12.06.1997 Gazette  1997/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT CH DE ES FR GB IT LI

(30) Priorität: 06.12.1995 DE 19951045554

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SEDLAK, Holger
    D-81541 München (DE)

(74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf., et al 
Patentanwalt, Postfach 22 13 17
80503 München
80503 München (DE)

   


(54) CMOS-ANORDNUNG