(19)
(11)
EP 0 866 781 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
30.09.1998
Patentblatt 1998/40
(21)
Anmeldenummer:
96943937.0
(22)
Anmeldetag:
12.12.1996
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
C03C
10/
02
( . )
C04B
35/
584
( . )
C03C
14/
00
( . )
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1996/005571
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1997/021644
(
19.06.1997
Gazette 1997/26)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT
(30)
Priorität:
12.12.1995
DE 19951046238
(71)
Anmelder:
SKW Trostberg Aktiengesellschaft
83308 Trostberg (DE)
(72)
Erfinder:
HINTERMAYER, Jochen
D-83308 Trostberg (DE)
(74)
Vertreter:
Weiss, Wolfgang, Dipl.-Chem. Dr., et al
Patentanwälte Weickmann & Partner, Kopernikusstrasse 9
81679 München
81679 München (DE)
(54)
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON GESINTERTEM SILICIUMNITRID