(19)
(11) EP 0 866 781 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.09.1998  Patentblatt  1998/40

(21) Anmeldenummer: 96943937.0

(22) Anmeldetag:  12.12.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C03C 10/ 02( . )
C04B 35/ 584( . )
C03C 14/ 00( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1996/005571
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1997/021644 (19.06.1997 Gazette  1997/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 12.12.1995 DE 19951046238

(71) Anmelder: SKW Trostberg Aktiengesellschaft
83308 Trostberg (DE)

(72) Erfinder:
  • HINTERMAYER, Jochen
    D-83308 Trostberg (DE)

(74) Vertreter: Weiss, Wolfgang, Dipl.-Chem. Dr., et al 
Patentanwälte Weickmann & Partner, Kopernikusstrasse 9
81679 München
81679 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON GESINTERTEM SILICIUMNITRID