FESTWERTSPEICHERZELLENVORRICHTUNG MIT ISOLATIONSGRÄBEN UND DEREN HERSTELLUNGSVERFAHREN - Patent 0879480

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EP 0 879 480 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	25.11.1998 Patentblatt 1998/48

(21)	Anmeldenummer: 97914129.0

(22)	Anmeldetag: 06.02.1997

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 21/ 8246^{( . )}

H01L 27/ 112^{( . )}

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE1997/000239

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 1997/029516 (14.08.1997 Gazette 1997/35)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE FR GB IE IT NL

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Priorität:

06.02.1996 DE 19961004260

(71)	Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
	80333 München (DE)

(72)	Erfinder:
	KLOSE, Helmut D-81929 München (DE) BERTAGNOLLI, Emmerich D-80799 München (DE)

(74)	Vertreter: Fischer, Volker, Dipl.-Ing., et al
	Epping Hermann & Fischer Postfach 12 10 26 80034 München 80034 München (DE)

(54)	FESTWERTSPEICHERZELLENVORRICHTUNG MIT ISOLATIONSGRÄBEN UND DEREN HERSTELLUNGSVERFAHREN