......DE....FRGB..IT....NL......IE..................................................................*EPregister to ST.36 EBD process v 1.0 kbaumeister@epo.org (15 Jan 2013)0879480A119981125EP97914129.01997020619980720dedede1996100426019960206DE1998112519984819981125199848

H01L 21/ 8246 A I

H01L 27/ 112 A I

enREAD-ONLY MEMORY CELL DEVICE WITH INSULATING TRENCHES AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOFfrDISPOSITIF A CELLULES DE MEMOIRE MORTE AVEC TRANCHEES D'ISOLATION ET SON PROCEDE DE PRODUCTIONdeFESTWERTSPEICHERZELLENVORRICHTUNG MIT ISOLATIONSGRÄBEN UND DEREN HERSTELLUNGSVERFAHRENSIEMENS AKTIENGESELLSCHAFTWittelsbacherplatz 280333 MünchenDEKLOSE, HelmutStefan-George-Ring 9D-81929 MünchenDEBERTAGNOLLI, EmmerichNordendstrasse 5D-80799 MünchenDEFischer, Volker, Dipl.-Ing., et alEpping Hermann & Fischer Postfach 12 10 2680034 MünchenDEDEFRGBIEITNLDE199700023919970206deWO199702951619970814199735