(19)

(11)

EP 0 888 570 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.01.1999  Patentblatt  1999/01 (21) Anmeldenummer: 97952867.0 (22) Anmeldetag:  03.12.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 027( . ) G02B 13/ 18( . ) G02B 13/ 24( . ) G02B 13/ 14( . ) G02B 13/ 22( . ) G03F 7/ 20( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1997/006760 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/028644 (02.07.1998 Gazette  1998/26)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT NL (30) Priorität: 21.12.1996 DE 19961053983 (71) Anmelder: Carl Zeiss D-89518 Heidenheim (Brenz) (DE) CARL-ZEISS-STIFTUNG, trading as CARL ZEISS 89518 Heidenheim (DE)	(72) Erfinder: SCHULTZ, Jörg D-73430 Aalen (DE) WANGLER, Johannes D-89551 Königsbronn (DE) SCHUSTER, Karl-Heinz D-89551 Königsbronn (DE) (74) Vertreter: Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr., et al  Carl Zeiss, Patentabteilung 73446 Oberkochen 73446 Oberkochen (DE)