(19)

(11)

EP 0 888 639 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.01.1999  Patentblatt  1999/01 (21) Anmeldenummer: 97917263.0 (22) Anmeldetag:  14.03.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/ 06( . ) H01L 29/ 40( . ) H01L 29/ 78( . ) H01L 29/ 08( . ) H01L 29/ 423( . ) H01L 29/ 417( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1997/000528 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/035346 (25.09.1997 Gazette  1997/41)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB (30) Priorität: 20.03.1996 DE 19961011045 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: TIHANYI, Jenö D-85551 Kirchheim (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Westphal, Mussgnug & Partner  Mozartstrasse 8 80336 München 80336 München (DE)