(19)

(11)

EP 0 888 702 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.01.1999  Patentblatt  1999/01 (21) Anmeldenummer: 97900958.0 (22) Anmeldetag:  04.01.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H05B 3/ 10( . ) H05B 3/ 00( . ) H05B 3/ 48( . ) F24H 1/ 14( . ) H05B 3/ 40( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1997/000028 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/038554 (16.10.1997 Gazette  1997/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH DE DK FR GB IE IT LI NL (30) Priorität: 03.04.1996 DE 19961013411 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: POKORNY, Joachim D-78183 Hüfingen (DE) STEINRÜCKE, Andreas D-78607 Talheim (DE)