(19)
(11) EP 0 890 063 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.01.1999  Patentblatt  1999/02

(21) Anmeldenummer: 97902226.0

(22) Anmeldetag:  25.01.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F25B 9/ 00( . )
F25B 9/ 14( . )
 F25B 9/ 10( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1997/000342
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1997/037174 (09.10.1997 Gazette  1997/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 29.03.1996 DE 19961012539

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • HÄFNER, Hans-Ulrich
    D-50996 Köln (DE)
  • HEIDEN, Christoph
    D-35440 Linden (DE)
  • THUMMES, Günter
    D-22559 Hamburg (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) MEHRSTUFIGE TIEFTEMPERATURKÄLTEMASCHINE