(19)

(11)

EP 0 891 639 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 20.01.1999  Patentblatt  1999/03 (21) Anmeldenummer: 97919273.0 (22) Anmeldetag:  13.03.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 33/ 64( . ) H01S 5/ 026( . ) H01S 5/ 00( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1997/000501 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/037390 (09.10.1997 Gazette  1997/43)

(84) Benannte Vertragsstaaten: CH DE FI FR GB IT LI NL SE (30) Priorität: 28.03.1996 DE 19961012388 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: KUHLMANN, Werner D-81541 München (DE) STATH, Norbert D-93049 Regensburg (DE) ALTHAUS, Hans-Ludwig D-93138 Lappersdorf (DE) SPÄTH, Werner D-83607 Holzkirchen (DE) (74) Vertreter: Müller, Wolfram Hubertus, Dipl.-Phys., et al  Patentanwälte Maikowski & Ninnemann, Kurfürstendamm 54-55 10707 Berlin 10707 Berlin (DE)