(19)

(11)

EP 0 892 990 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 27.01.1999  Patentblatt  1999/04 (21) Anmeldenummer: 97923733.0 (22) Anmeldetag:  09.04.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 8247( . ) H01L 29/ 423( . ) H01L 29/ 792( . ) H01L 27/ 115( . ) H01L 29/ 788( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1997/000722 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/038446 (16.10.1997 Gazette  1997/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IE IT NL (30) Priorität: 09.04.1996 DE 19961014011 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: KAKOSCHKE, Ronald D-81475 München (DE) (74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf., et al  Patentanwalt, Postfach 22 13 17 80503 München 80503 München (DE)