(19)

(11)

EP 0 896 694 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.02.1999  Patentblatt  1999/07 (21) Anmeldenummer: 96914158.0 (22) Anmeldetag:  02.05.1996

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 1/ 00( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1996/001806 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/042547 (13.11.1997 Gazette  1997/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: BE CH DK FR GB LI (71) Anmelder: WINDI WINDERLICH GmbH D-20259 Hamburg (DE)	(72) Erfinder: COSTARD, Herbert D-21629 Neu Wulmstorf (DE) (74) Vertreter: UEXKÜLL & STOLBERG  Patentanwälte Beselerstrasse 4 22607 Hamburg 22607 Hamburg (DE)