(19)
(11) EP 0 904 598 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
31.03.1999  Patentblatt  1999/13

(21) Anmeldenummer: 98909293.0

(22) Anmeldetag:  28.01.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/ 677( . )
H01L 21/ 683( . )
 B25J 15/ 06( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1998/000250
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/033205 (30.07.1998 Gazette  1998/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT

(30) Priorität: 28.01.1997 DE 19971003059

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MATHUNI, Josef
    D-81737 München (DE)

(74) Vertreter: Kindermann, Peter, Dipl.-Ing. 
Postfach 1330
85627 Grasbrunn
85627 Grasbrunn (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HALTERUNG UND ZUM SCHUTZ VON HALBLEITER-WAFERN