(19)
(11) EP 0 907 881 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.04.1999  Patentblatt  1999/15

(21) Anmeldenummer: 97930357.0

(22) Anmeldetag:  27.06.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01L 9/ 00( . )
H01L 29/ 84( . )
G01L 19/ 00( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1997/001356
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/000692 (08.01.1998 Gazette  1998/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 28.06.1996 DE 19961026084

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • WINTERER, Jürgen
    D-90451 Nürnberg (DE)
  • BEER, Gottfried
    D-93152 Nittendorf (DE)

(74) Vertreter: Zimmermann & Partner 
Postfach 33 09 20
80069 München
80069 München (DE)

   


(54) DRUCKSENSORVORRICHTUNG FÜR EINE MONTAGE AUF DER BESTÜCKUNGSOBERFLÄCHE EINER LEITERPLATTE