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(11) | EP 0 913 500 A3 |
| (12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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| (54) | Galvanische Abscheidungszelle mit Justiervorrichtung |
| (57) Beschrieben wird eine Einrichtung zur galvanischen Abscheidung einer Metallschicht
auf einem Träger, mit einem Behälter (50) zur Aufnahme des Elektrolyten (58), mit
einem mit Anodenmaterial gefüllten Anodenbehälter (56) mit einer im wesentlichen planen
Austrittsfläche (89) für Metallionen des Anordenmaterials. Ein Trägerhalter (86) ist
mit einer angetriebenen Welle (84) verbunden, die in einer Antriebsvorrichtung (54)
auf einem Deckel (52) des Behälters (50) gelagert ist. Der Deckel (52) ist um eine
Drehachse einer Schwenkvorrichtung (70) drehbar gelagert, die auf der dem Anodenbehälter
(56) gegenüberliegenden Seite des Behälters (50) befestigt ist. Erfindungsgemäß ist
die Trägeroberfläche in bezug auf die ihr gegenüberliegende Austrittsfläche (89) des
Anodenbehälters (56) justierbar. |