(19)

(11)

EP 0 914 196 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.05.1999  Patentblatt  1999/19 (21) Anmeldenummer: 97928233.0 (22) Anmeldetag:  18.06.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B01F 3/ 08( . ) B01F 15/ 04( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1997/003176 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1997/049483 (31.12.1997 Gazette  1998/05)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE DE FR GB IT NL (30) Priorität: 26.06.1996 DE 19961025651 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: BOOS, Robert D-78166 Donaueschingen (DE) FUNKHÄNEL, Jürgen D-78166 Donaueschingen (DE)