(19)

(11)

EP 0 916 162 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.05.1999  Patentblatt  1999/20 (21) Anmeldenummer: 97937412.0 (22) Anmeldetag:  29.07.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 8247( . ) H01L 29/ 51( . ) H01L 29/ 792( . ) H01L 27/ 115( . ) H01L 29/ 788( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1997/001601 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/006140 (12.02.1998 Gazette  1998/06)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT (30) Priorität: 01.08.1996 DE 19961031155 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)

(72) Erfinder: REISINGER, Hans D-82031 Grünwald (DE) STENGL, Reinhard D-86391 Stadtbergen (DE) GRÜNING, Ulrike Hopewell Junction, NY 12533 (US) WENDT, Hermann D-85630 Grasbrunn (DE) WILLER, Josef D-85521 Riemerling (DE) FRANOSCH, Martin D-81739 München (DE) SCHÄFER, Herbert D-85635 Höhenkirchen-Siegertsbrunn (DE) KRAUTSCHNEIDER, Wolfgang D-83104 Hohenthann (DE) HOFMANN, Franz D-80995 München (DE) LEHMANN, Volker D-80689 München (DE) BÖHM, Thomas D-12107 Berlin (DE) (74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf., et al  Patentanwalt, Postfach 22 13 17 80503 München 80503 München (DE)