(19)
(11) EP 0 918 043 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
23.11.2005  Patentblatt  2005/47

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
14.09.2005  Patentblatt  2005/37

(21) Anmeldenummer: 98121350.7

(22) Anmeldetag:  10.11.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C03C 17/245, C23C 14/08, C23C 14/34

(54)

Mit mindestens einer MgO-Schicht beschichtetes Substrat

Substrate coated with at least one MgO-layer

Substrat revêtu d'au moins une couche de MgO

(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR NL

(30) Priorität: 20.11.1997 EP 97120354

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
26.05.1999  Patentblatt  1999/21

(73) Patentinhaber: Applied Films GmbH & Co. KG
63755 Alzenau (DE)

(72) Erfinder:
  • Stollenwerk, Johannes
    63571 Gelnhausen (DE)
  • Daube, Christoph
    63755 Alzenau (DE)
  • Guerke, Achim
    63739 Aschaffenburg (DE)

(74) Vertreter: Troesch Scheidegger Werner AG 
Patentanwälte Postfach
8032 Zürich
8032 Zürich (CH)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A- 0 570 182
 EP-A- 0 803 587
   
  • PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 013, no. 562 (C-665), 13. Dezember 1989 & JP 01 234398 A (MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD), 19. September 1989
  • YASUHISA KANEKO ET AL: "PREPARATION OF MGO THIN FILMS BY RF MAGNETRON SPUTTERING" JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, Bd. 30, Nr. 5, 1. Mai 1991, Seiten 1091-1092, XP000263714
  • BRULEY J ET AL: "NANOSTRUCTURE AND CHEMISTRY OF A (100)MGO/(100)GAAS INTERFACE" APPLIED PHYSICS LETTERS, Bd. 65, Nr. 5, 1. August 1994, Seiten 564-566, XP000464872
  • TSUGUO ISHIHARA ET AL: "STRUCTURE OF MGO FILMS PREPARED BY ION BEAM SPUTTERING" JOURNAL OF THE CERAMIC SOCIETY OF JAPAN, INTERNATIONAL EDITION, Bd. 97, Nr. 8, 1. August 1989, Seiten 4-10, XP000083701
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).