(19)

(11)

EP 0 920 590 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.06.1999  Patentblatt  1999/23 (21) Anmeldenummer: 97929175.0 (22) Anmeldetag:  12.06.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F04C 27/ 00( . ) F16J 15/ 32( . ) F04C 29/ 04( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1997/003072 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/007988 (26.02.1998 Gazette  1998/08)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT (30) Priorität: 21.08.1996 DE 19961033651 (71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: BURGHARD, Hans-Josef D-50937 Köln (DE) BEZ, Eckhard N. Chelmsford, MA 01863 (US) MEYER, Jürgen D-50259 Pulheim (DE) (74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys.  Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE)