(19)
(11) EP 0 922 165 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.06.1999  Patentblatt  1999/24

(21) Anmeldenummer: 97944768.0

(22) Anmeldetag:  19.08.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04B 25/ 00( . )
 F04B 25/ 02( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1997/004509
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/009079 (05.03.1998 Gazette  1998/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 27.08.1996 DE 19961034519

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • MEYER, Jürgen
    D-50259 Pulheim (DE)
  • BAHNEN, Rudolf
    D-52159 Roetgen (DE)
  • BURGHARD, Hans-Josef
    D-50937 Köln (DE)
  • GIEBMANNS, Wolfgang
    D-61389 Schmitten (DE)
  • TENNEMANN, Bernd
    D-51371 Leverkusen (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) EINTRITTSVENTIL MIT DROSSELEFFEKT UND MEHRSTUFIGE KOLBENVAKUUMPUMPE