(19)
(11) EP 0 922 166 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.06.1999  Patentblatt  1999/24

(21) Anmeldenummer: 97928176.0

(22) Anmeldetag:  12.06.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04B 37/ 14( . )
F04B 39/ 10( . )
 F04B 39/ 08( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1997/003042
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/009080 (05.03.1998 Gazette  1998/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 27.08.1996 DE 19961034517

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • BURGHARD, Hans-Josef
    D-50937 Köln (DE)
  • MEYER, Jürgen
    D-50259 Pulheim (DE)
  • BEZ, Eckhard
    N. Chelmsford, MA 01863 (US)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) KOLBENVAKUUMPUMPE MIT AUSLASSVENTIL