[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mikrosicherung (MEMS) zum Unterbrechen und
Schließen eines elektrischen Stromkreises.
[0002] Bei der vorliegenden Erfindung handelt es sich um eine automatische Sicherung mit
Millimeterabmessungen unter Verwendung von Linearaktoren aus einer Formgedächtnislegierung.
Derartige Sicherungen bilden ein
Mikro-
Elektro-
Mechanisches-
System (MEMS) zum Unterbrechen und Schließen eines elektrischen Stromkreises. Linearaktoren
als solche sind zum Beispiel aus:
ACTUATOR 96, 5th International Conference on New Actuators, 26.-28. June 1996, Bremen, s.367-369"
bekannt. Speziell bekannt ist dabei, zwei Linearaktoren, die aus einer Formgedächtnislegierung
bestehen, gegeneinander vorgespannt anzuordnen, um damit Schaltvorgänge vorzunehmen.
Dabei besitzt jeder der Aktoren eine mäanderförmige Struktur, sowie ein ortsfestes
und ein bewegliches Ende. Schließlich ist der Aktor auf einem Keramiksubstrat angeordnet.
[0003] Ausgehend davon ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, mit solchen Aktoren eine
Mikrosicherung mit Millimeterabmessungen zum Unterbrechen und Schließen eines elektrischen
Stromkreises zu schaffen.
[0004] Zur Lösung der Aufgabe schlägt die Erfindung die Merkmale vor, die in ihrer Gesamtheit
im Anspruch 1 angeführt sind. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind
in den Merkmalen der Unteransprüche zu sehen.
[0005] Dei erfindungsgemäße Mikrosicherung ermöglicht eine automatische Unterbrechung eines
elektrischen Lastkreises oberhalb einer kritischen Stromstärke. Durch Strombeaufschlagung
eines ersten Steuerkreises kann der Lastkreis wieder geschlossen werden. Mit Hife
eines zweiten Steuerkreises nach der Ausführungsvariante kann die Unterbrechung des
Lastkreises zusätzlich nach Bedarf unterbrochen werden. Die Mikrosicherung kann eine
sehr geringe Baugröße von wenigen mm aufweisen. Es ist zu seiner Realisierung nur
ein einziges FGL-Mikrobauteil erforderlich. Aufgrund des intrisischen FGL-Effektes
ist die Sicherungsfunktion sehr zuverlässig. Die Bewegung erfolgt reibungsfrei, wobei
hohe Kräfte im Kontaktbereich bei ausreichenden Stellwegen zur galvanischen Kontaktunterbrechung
erzielt werden.
[0006] Einzelheiten der Erfindung werden im folgenden und anhand der Figuren näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 Mikrosicherung in einer ersten Ausführung in perspektivischer Darstellung,
Fig. 2 Mikrosicherung geöffnet
Fig. 3 Mikrosicherung geschlossen
Fig.4 zweite Ausführung der Mikrosicherung.
[0007] Materialien aus Formgedächtnislegierungen FGL zeigen beim Übergang von einer martensitischen
Phase unterhalb der Phasenübergangstemperatur des Materials zu einer austenitischen
Stammphase durch Erwärmung über die Phasenübergangstemperatur eine thermoelastische
Phasentransformation. Unterhalb der Phasentransformationstemperatur ist das Formgedächtnis-Material
um mehrere Prozent plastisch deformierbar. Das Material verbleibt im deformierten
Zustand, solange bis es über die Phasentransformationstemperatur erwärmt wird, wobei
es unter erheblicher Krafterzeugung wieder seine ursprüngliche Gestalt (Gedächtnisgestalt)
annimmt. Im martensitischen Zustand lassen sich federnde FGL-Bauteile leicht auslenken,
bei Erwärmung über die Phasentransformationstemperatur nehmen sie dagegen einen erheblich
steiferen Zustand an. Dieser Effekt wird auch Ein-Weg-Effekt genannt, da er nur bei
Temperaturänderung in einer Richtung (Erwärmung) auftritt. Die Gedächtnisgestalt kann
durch bestimmte thermomechanische Verfahren eingestellt werden. So kann man auch den
Formgedächtniseffekt zusätzlich bei Rücktransformation (Abkühlung) einstellen. In
diesem Fall spricht man auch von Zwei-Weg-Effekt. Die maximale Krafterzeugung bei
Rücktransformation ist jedoch wesentlich geringer. Ein technisch interessantes Formgedächtnis-Material
ist z. B. NiTi, das reversible Dehnungsänderungen bis 8 % zuläßt.
[0008] Die neue Mikrosicherung ist zum Unterbrechen und Schließen eines elektrischen Stromkreises
in der Mikrotechnik vorgesehen. Sie weist als Stellglied mindestens zwei ebene, gegeneinander
arbeitende Linearaktoren (Aktor), einen ersten 1 und einen zweiten 2, aus je zwei
mäanderförmigen Strukturen 3, 4 und 5, 6 als Stellelemente auf. Die Stellelemente
bestehen hier beispielsweise aus zwei gefalteten Planarfedern, die über ein Übergangsstück
9 miteinander gekoppelt sind und sich in einem mechanisch vorgespannten Zustand befinden.
Beide Planarfedern aus FGL sind so konditioniert, daß sie in ihrer austenitischen
Hochtemperaturphase entweder eine unausgelenkte oder vollständig ausgelenkte Gedächtnisgestalt
annehmen. Die in den Figuren 1 bs 4 dargestellten Ausführungsformen benutzen eine
unausgelenkte Gedächtnisgestalt. Beide Aktoren 1, 2 besitzen je ein ortsfestes 7 und
ein bewegliches Arbeitsende 8, wobei die beiden beweglichen durch das Übergangsstück
9 miteinander verbunden sind. Das Übergangsstück 9 bildet gleichzeitig als ein gemeinsames
Teil beider Aktoren 1, 2 die Verbindung zwischen den Strukturen 3, 4 sowie 5, 6. Alle
diese Elemente sowie die Kalotte 10 bestehen als ein Teil aus strukturierter Folie
einer elektrisch leitfähigen FGL, in der durch Phasentransformation in den Aktoren
1, 2 Kräfte in einander entgegengesetzter Richtung erzeugt werden. Diese Kräfte werden
durch Ohmsche Erwärmung freigesetzt, da die Struktur zum Teil Bestandteil von Stromkreisen
ist und dadurch teilweise über die Phasentransformationstemperatur erwärmt werden
kann. Dazu spielen bei der in den Figuren 1 bis 3 dargestellten Ausführung der Mikrosicherung
zwei Stromkreise eine Rolle. Der erste ist der zu schaltende Last- oder Schaltkreis.
Er wird von dem zweiten Aktor 2, dem Übergangsstück 9 und der Kalotte 10 sowie der
Klemmvorrichtung 11 des Schaltkontaktes und den zugehörigen Anschlüssen 12, 13 gebildet.
Der zweite Stromkreis ist ein Steuerkreis zum Schließen des Lastkreises, der von dem
ersten Aktor 1, dem Übergangsstück 9 sowie den Anschlüssen 14, 15 gebildet wird. Der
Schaltkontakt 10, 11 im Lastkreis ist als lösbare Klemmvorrichtung ausgebildet, die
das reversible Öffnen und Schließen der elektrischen und mechanischen Verbindung im
Lastkreis ermöglicht. Die Klemmvorrichtung 10, 11 ist dabei so dimensioniert, daß
der Kontakt bei niedrigen Stromstärken im Lastkreis aufrechterhalten werden kann und
der Kontaktwiderstand genügend erniedrigt ist.
[0009] Die Aktoren 1, 2 der beiden Stromkreise sind so ausgelegt, daß bei Strombeaufschlagung
des Aktors 1 und geöffnetem Schaltkontakt 10,11 im Steuerkreis die Kraft in Stellrichtung
des Aktors 1 gegenüber der Rückstellkraft des Aktors 2 und der Haltekraft des Schaltkontaktes
10, 11 überwiegt. Außerdem überwiegt bei Stromstärken oberhalb der Grenzstromstärke
im Lastkreis die Rückstellkraft des Aktors 2 gegenüber der Kraft des Aktors 1 in Stellrichtung
und der Klemmkraft. Die Grenzstromstärke im Lastkreis wird durch die Abmessungen des
Aktors 2 festgelegt. Das Übergangsstück 9 zwischen den beiden Aktoren 1, 2 ist so
dimensioniert, daß beide Aktoren 1, 2 thermisch hinreichend voneinander entkoppelt
sind, so daß bei Strombeaufschlagung des Aktors 1 im Steuerkreis die Temperatur des
Aktors 2 unterhalb dessen Phasentransformationstemperatur bleibt. An dem Übergangsstück
9 ist der Schaltkontakt aus den Teilen 10, 11 in den Lastkreis eingeschaltet, der
durch die Formänderung eines der beiden Aktoren 1, 2 geöffnet und durch die Formänderung
des jeweils anderen wieder geschlossen wird. Wie bereits erwähnt, besteht der erste
der Aktoren 1 aus den zwei nebeneinanderliegenden Strukturen 3, 4, die an ihren Arbeitsenden
8 mittels des Übergangsstückes 9 miteinander verbunden sind. Bei den Ausführungsbeispielen
ist zwischen diesen Strukturen 3, 4 der Schaltkontakt 10, 11 angeordnet, wobei die
eine Hälfte 10 des Schaltkontaktes 10, 11 an dem Übergangsstück 9 zwischen den Arbeitsen-den
8 elektrisch leitend, die andere Hälfte 11 zwischen den Strukturen 3, 4 des ersten
Aktors 1, jedoch elek-trisch von diesen und der übrigen Struktur getrennt angebracht
ist. Wie bereits vorstehend erwähnt, besteht die eine Hälfte des Schaltkontaktes 10,
11 aus der Kalotte 10, die andere Hälfte aus einer die Kalotte 10 aufnehmenden Klemmvorrichtung
11, deren Klemmkraft durch die Formänderung eines der Aktoren 1 oder 2 überwindbar
ist und die über den Anschluß 13 kontaktiert ist. Damit ist der über das Übergangsstück
9 mit dem Schaltkontakt 10, 11 verbundene zweite Aktor 2 Bestandteil des Strompfades
des zu schaltenden Strom-/Lastkreises und der um den Schaltkontakt 10, 11 gelegene
erste Aktor 1 bildet einen davon getrennten ersten Steuerkreis mit eigenem Strompfad.
Die offenen Enden/An-schlüsse 12, 14, 15 an der ortsfesten Seite 7 der beiden Aktoren
1, 2 sind als mechanische Haltestrukturen und zugleich elektrische Kontakte ausgebildet,
mittels derer die Strukturen 3, 4, 5, 6 und 21, 22 der Aktoren 1, 2 und 20 durch Stromaufgabe
erwärmbar sind.
[0010] Die gesamte Mikrosicherung ist nun, wie aus dem in der Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel
ersichtlich, auf einer nicht leitenden Substratplatte 16 aufgebaut. Dazu sind auf
ihr, bei der dargestellten Form vier, in einem bestimmten Abstand befindliche Kontaktelemente
17,18, 19 fest aufgebracht, in denen die Anschlüssen 12, 14, 15 elektrisch leitend
sitzen und eine Stromverbindung herstellen. Beide Aktoren 1, 2 mit dem Übergangsstück
9 und der daran sitzenden Kalotte 10 bilden ein frei bewegliches FGL-Stellglied zwischen
den festen Kontaktelementen 17, 18, 19, in denen die Anschlüsse 12, 14, 15 fest sitzen.
Auf diese Weise werden die erwähnten Enden der Aktoren 1, 2 gegenüber der Substratplatte
16 ortsfest fixiert. Der Abstand der Kontaktelemente 17, 18, 19 ist so gewählt, daß
die Aktoren 1, 2 in bestimmtem Maße gegeneinander vorgespannt sind.
[0011] In der Figur 4 ist eine zweite Ausführung der Mikrosicherung nach der Erfindung dargestellt.
Diese ist mit der in den Figuren 1 bis 3 dargestellten Ausführung in allen Positionsziffern
bis 19 identisch, jedoch um einen zusätzlichen dritten Aktor 20 erweitert. Dieser
Aktor 20 aus zwei mäanderförmigen Strukturen 21, 22 ist an dem Übergangsstück 9 parallel
zu dem zweiten Aktor 2 neben diesem mit seinem Arbeitsende 23 so angebracht, daß er
mit dem Übergangsstück 9 zusammen einen separaten Stromkreis als zweiten Steuerkreis
bildet. Dieser zweite Steuerkreis ermöglicht das getrennte Lösen des Schaltkontaktes
10, 11 ohne Erwärmung oder Beeinflussung des Aktors 2 im Lastkreis. Die Strukturen
21, 22 des zusätzlichen Aktors 20 weisen ebenfalls Anschlüsse 24, 25 auf, die wie
die der anderen Aktoren 1, 2 in Kontaktelementen 26, 27 auf der Substratplatte 16
sitzen.
[0012] Das Schließen des Schaltkontaktes 10, 11 im Lastkreis bei beiden Ausführungen wird
durch Strombeheizung der Strukturen des Aktors 1 im Steuerkreis über ihre Phasentransformationstemperatur
durchgeführt. Nach Schließen des Lastkreises kann der Strom im Steuerkreis wieder
abgeschaltet werden, da die Klemmkraft zur Aufrechterhaltung des Kontaktes im Lastkreis
ausreicht. Wenn bei der Ausführung nach den Figuren 1 bis 3 die Stromstärke im Lastkreis
über einen kritischen Wert steigt, so steigt die Temperatur des Aktors 2 über die
Phasentransformationstemperatur, so daß dessen Kraft über die Kraft der Klemmvorrichtung
11 dominiert und der Kontakt an der Klemmvorrichtung 11 geöffnet wird. Bei der Ausführung
nach der Figur 4 wird dieses Öffnen auch durch separates Erwärmen des dritten Aktors
20 erzielt.
[0013] Als Ausgangsmaterial zur Herstellung der gesamten Struktur der Mikrosicherung dienen
dünne Filme, Folien oder gewalzte Bleche aus FGL mit typischen Dicken D im Bereich
von 20 bis 200 µm. Dünne Filme aus FGL können mit Sputterverfahren und nachfolgender
thermomechanischer Behandlung hergestellt werden. Folien aus FGL im Dickenbereich
von 50 µm können z. B. mit dem "Melt-Spinning"-Verfahren realisiert werden. Folien
können heute durch Walzen schmelzmetallurgisch hergestellter FGL Bleche in allen Dickenbereichen
realisiert werden. In gewissen Grenzen kann die Dicke auch durch chemische Ätzverfahren
auf den gewünschten Wert eingestellt werden.
[0014] Die Mikrostrukturierung des Ausgangsmaterials in die gewünschte Form der Struktur
der Mikrosicherung kann durch Laserschneiden, Erodieren oder durch ein lithographisches
Verfahren durchgeführt werden. Als lithographisches Verfahren wird insbesondere das
elektrolytische Photoätzverfahren bevorzugt. Dabei wird ein geeigneter Photolack auf
das Material aufgebracht, der dann optisch durch Schattenwurf oder direkte Laserschreibverfahren
belichtet und nachfolgend entwickelt wird. Der so erzeugte mikrostrukturierte Photolack
dient als Schutzmaske beim nachfolgenden elektrolytischen Ätzprozeß, bei dem die ungeschützten
Teile in einem elektrolytischen Bad bei Anwesenheit eines elektrischen Feldes selektiv
entfernt werden. Aufgrund der hohen chemischen Beständigkeit von FGL-Materialien eignen
sich die elektrolytischen Ätzverfahren hier besonders gut.
Bezugszeichenliste:
[0015]
- 1
- erster Aktor, 1.Steuerkreis
- 2
- zweiter Aktor Lastkreis
- 3
- mäanderförmige Struktur
- 4
- mäanderförmige Struktur
- 5
- mäanderförmige Struktur
- 6
- mäanderförmige Struktur
- 7
- ortfestes Ende
- 8
- bewegliches Arbeitsende
- 9
- Übergangsstück
- 10
- Kalotte Schaltkontakt
- 11
- Klemmvorrichtung Schaltkontakt
- 12
- Anschluß
- 13
- Anschluß
- 14
- Anschluß
- 15
- Anschluß
- 16
- Substratplatte
- 17
- Kontaktelemente
- 18
- Kontaktelemente
- 19
- Kontaktelemente
- 20
- dritter Aktor, 2.Steuerkreis
- 21
- mäanderförmige Struktur
- 22
- mäanderförmige Struktur
- 23
- bewegliches Arbeitsende
- 24
- Anschluß
- 25
- Anschluß
- 26
- Kontaktelemente
- 27
- Kontaktelemente
1. Mikrosicherung (MEMS), zum Unterbrechen und Schließen eines elektrischen Stromkreises
mit den folgenden Merkmalen:
a) die Mikrosicherung weist mindestens zwei ebene, gegeneinander vorgespannte Linearaktoren
(1, 2) aus mäanderförmigen Strukturen (3, 4, 5, 6) als Stellelemente mit je einen
ortsfestem (7) und einem beweglichen (8) Arbeitsende aus strukturierter Folie einer
elektrisch leitfähigen Formgedächtnislegierung FGL auf,
b) in den Stellelementen (3, 4, 5, 6) werden durch Phasentransformation Kräfte in
einander entgegengesetzter Richtung erzeugt
c) die Stellelemente (3, 4, 5, 6) sind zum Teil Bestandteil des elektrischen Stromkreises,
d) die gegeneinander liegenden Arbeitsenden (8) der Linearaktoren (1, 2) sind durch
ein Übergangsstück (9) miteinander verbunden, wobei an dem Übergangsstück (9) ein
Schaltkontakt (10, 11) in dem elektrischen Stromkreis angeordnet ist,
e) der Schaltkontakt (10, 11) durch die Formänderung eines der Linearaktoren (1, 2)
geöffnet und durch die Formänderung des anderen der Linearaktoren wieder geschlossen
wird.
2. Mikrosicherung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die weiteren Merkmale:
a) der erste Linearaktor (1) besteht aus mindestens zwei nebeneinanderliegenden, mäanderförmigen
Strukturen (3, 4), die an ihren Arbeitsenden (8) über das Übergangsstück (9) miteinander
verbunden sind und zwischen oder neben sich den Schaltkontakt (10, 11) aufnehmen,
b) dabei ist die eine Hälfte (10) des Schaltkontaktes (10, 11) an dem Übergangsstück
(9) elektrisch leitend, die andere Hälfte (11) zwischen oder neben den mäanderförmigen
Strukturen (3, 4) des ersten Linearaktors (1), jedoch elektrisch von diesen und der
übrigen Struktur getrennt angebracht.
3. Mikrosicherung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch die weiteren Merkmale:
a) die eine Hälfte des Schaltkontaktes (10, 11) besteht aus einer Kalotte (10), die
andere Hälfte des Schaltkontaktes (10, 11) aus einer diese Kalotte (10) aufnehmende
Klemmvorrichtung (11), deren Klemmkraft durch die Formänderung je eines der Linearaktoren
(1, 2) beim Öffnen und Schließen in beiden Richtungen überwindbar ist.
4. Mikrosicherung nach Anspruch 2 oder 3, gekennzeichnet durch die weiteren Merkmale:
a) der über das Übergangsstück (9) mit dem Schaltkontakt (10, 11) verbundene zweite
Linearaktor (2) ist Bestandteil des Strompfades des zu schaltenden Strom-/Lastkreises,
der um den Schaltkontakt (10, 11) gelegene erste Linearaktor (1) bildet einen davon
getrennten ersten Steuerkreis mit einem eigenen Strompfad.
5. Mikrosicherung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch die weiteren Merkmale:
a) an dem Übergangsstück (9) ist parallel zu dem zweiten Linearaktor (2) neben diesem
ein dritter Linearaktor (20) aus zwei mäanderförmigen Strukturen (21, 22) mit deren
Arbeitsenden (23) angebracht, die mit dem Übergangsstück (9) zusammen einen separaten
Stromkreis als zweiten Steuerkreis bilden.
6. Mikrosicherung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch die weiteren Merkmale:
a) alle Linearaktoren (1, 2, 20) und der dadurch betätigte Schaltkontakt (10, 11)
sind gemeinsamer Bestandteil der strukturierten Folie aus der Formgedächtnislegierung
FGL, wobei die Linearaktoren (1, 2; 20) dabei jedoch thermisch weitgehend voneinander
entkoppelt sind.
7. Mikrosicherung nach einem der Ansprüche 3 oder 6, gekennzeichnet durch die weiteren
Merkmale:
a) die offenen Enden an dem ortsfesten Ende aller Linearaktoren (1, 2; 20) sind als
Kontakte (12, 14, 15; 24, 25) ausgebildet, mittels derer die mäanderförmigen Strukturen
(3, 4, 5, 6; 21, 22) der Linearaktoren (1, 2; 20) durch Stromaufgabe erwärmbar sind.