(19)
(11) EP 0 929 910 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.07.1999  Patentblatt  1999/29

(21) Anmeldenummer: 98947303.0

(22) Anmeldetag:  17.07.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/ 336( . )
H01L 29/ 167( . )
H01L 29/ 76( . )
H01L 31/ 062( . )
 H01L 29/ 06( . )
H01L 29/ 32( . )
H01L 29/ 78( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1998/002020
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1999/004437 (28.01.1999 Gazette  1999/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT

(30) Priorität: 17.07.1997 DE 19971030759

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • DEBOY, Gerald
    D-82008 Unterhaching (DE)
  • TIHANYI, Jenoe
    D-85551 Kirchheim (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Westphal, Mussgnug & Partner 
Mozartstrasse 8
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) VERTIKALER LEISTUNGS-MOSFET