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(11) | EP 0 930 104 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | Verfahren und Vorrichtung zum Vernetzen und Härten von Lack |
(57) Ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Vernetzen und Härten einer Lackschicht (12)
auf einem Substrat (10) sieht einen Excimerlaser (14) als Quelle für UV-Strahlung
vor. |