HALBLEITERANORDNUNG MIT EINER SCHICHT AUS EINEM EDELMETALL UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DERSELBEN - Patent 0931334

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EP 0 931 334 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	28.07.1999 Patentblatt 1999/30

(21)	Anmeldenummer: 97943753.0

(22)	Anmeldetag: 11.09.1997

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

C23C 14/ 34^{( . )}
C23C 14/ 18^{( . )}
H01L 21/ 316^{( . )}
H01L 21/ 3205^{( . )}
H01L 21/ 8242^{( . )}
H01L 27/ 10^{( . )}

C23C 14/ 02^{( . )}
H01L 21/ 285^{( . )}
H01L 21/ 318^{( . )}
H01L 21/ 822^{( . )}
H01L 27/ 04^{( . )}
H01L 27/ 108^{( . )}

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE1997/002036

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 1998/014991 (09.04.1998 Gazette 1998/14)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE FR GB

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Priorität:

30.09.1996 DE 19961040240

(71)	Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
	80333 München (DE)

(72)	Erfinder:
	HINTERMAIER, Frank D-81373 München (DE) SCHINDLER, Günther D-80802 München (DE) HARTNER, Walter D-89441 Medlingen (DE) MAZURE-ESPEJO, Carlos D-85604 Zorneding (DE)

(74)	Vertreter: Ginzel, Christian
	Zimmermann & Partner, Postfach 33 09 20 80069 München 80069 München (DE)

(54)	HALBLEITERANORDNUNG MIT EINER SCHICHT AUS EINEM EDELMETALL UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DERSELBEN