(19)

(11)

EP 0 931 344 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 28.07.1999  Patentblatt  1999/30 (21) Anmeldenummer: 97943756.0 (22) Anmeldetag:  11.09.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G06F 1/ 00( . ) H01L 23/ 58( . ) G06F 21/ 00( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1997/002039 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/013872 (02.04.1998 Gazette  1998/13)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT CH DE FR GB LI (30) Priorität: 23.09.1996 DE 19961039033 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: FRIES, Manfred D-94336 Hunderdorf (DE) STAMPKA, Peter D-92421 Schwandorf (DE) HUBER, Michael D-93152 Nittendorf (DE) (74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer  Ridlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)