(19)

(11)

EP 0 931 347 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 28.07.1999  Patentblatt  1999/30 (21) Anmeldenummer: 97912027.0 (22) Anmeldetag:  26.09.1997

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 27/ 04( . ) H01L 21/ 8242( . ) H01L 27/ 115( . ) H01L 21/ 822( . ) H01L 27/ 108( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1997/002219 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1998/015007 (09.04.1998 Gazette  1998/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IE IT (30) Priorität: 30.09.1996 DE 19961040215 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: SCHINDLER, Günther D-80802 München (DE) MAZURE-ESPEJO, Carlos D-85604 Zorneding (DE) (74) Vertreter: MÜLLER & HOFFMANN Patentanwälte  Innere Wiener Strasse 17 81667 München 81667 München (DE)