(19)
(11) EP 0 931 349 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.07.1999  Patentblatt  1999/30

(21) Anmeldenummer: 97935470.0

(22) Anmeldetag:  23.07.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 27/ 18( . )
H01Q 1/ 38( . )
 H01L 39/ 22( . )
H03B 15/ 00( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1997/001558
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/004002 (29.01.1998 Gazette  1998/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE ES FI FR GB IE IT LI NL SE

(30) Priorität: 23.07.1996 DE 19961029583

(71) Anmelder: OXXEL Oxide Electronics Technology GmbH
28359 Bremen (DE)

(72) Erfinder:
  • ZEHE, Alfred
    Mexico, Puebla 72440 (MX)

(74) Vertreter: Eisenführ, Speiser & Partner 
Martinistrasse 24
28195 Bremen
28195 Bremen (DE)

   


(54) EMITTER- UND/ODER DETEKTORBAUELEMENT FÜR SUBMILLIMETERWELLEN-STRAHLUNG UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG