(57) Gerät mit einem Plasmaerzeuger mit einer mit einem Gasanschluß verbundenen Kammer
(27, 27'), die von einer Kathode (19, 19') durchsetzt ist und einer die Kathode (19,
19') mit einem Ringspalt umgebenden Anode (15, 15'), wobei der Ringspalt mit der Kammer
(27, 27') in Verbindung steht und die Anode (15, 15') und die Kathode (19, 19') mit
elektrischen Anschlußleitungen (6) in Verbindung stehen. Um einen einfachen Austausch
des Plasmaerzeugers zu ermöglichen, ist vorgesehen, daß die Kathode (19, 19') in einem
aus einem elektrisch gut leitenden Material hergestellten Halteteil (18, 18') gehalten
ist und dieser Halteteil (18, 18') und die Anode (15, 15'), sowie ein zwischen dem
Halteteil (18, 18') der Kathode (19, 19') und der Anode (15, 15') angeordneter, die
Kammer (27, 27') begrenzender Zwischenteil (17, 55) gemeinsam mit zumindest einem
Verbindungsteil (13, 87) zu einem als Einheit handhabbaren Modul (11, 11') verbunden
sind, wobei der Halteteil (18, 18') und die Anode (15, 15') mit Kontaktflächen in
elektrisch leitender Verbindung stehen, die mit Kontaktstiften (9, 9') zusammenwirken,
die mit elektrischen Anschlußleitungen (6) verbunden und in einem Halter (1, 1') axial
federnd verschiebbar gehalten sind.
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