(19)
(11) EP 0 934 497 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.08.1999  Patentblatt  1999/32

(21) Anmeldenummer: 97945828.0

(22) Anmeldetag:  14.10.1997
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F26B 21/ 08( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1997/005650
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1998/019124 (07.05.1998 Gazette  1998/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE DE DK ES FR GB IT NL SE

(30) Priorität: 28.10.1996 DE 19961044717

(71) Anmelder:
  • Hellmann-Hygrex Luft- und Klimatechnik GmbH
    22848 Norderstedt (DE)
  • Gath, Dietmar
    35641 Schöffengrund (DE)

(72) Erfinder:
  • GATH, Dietmar
    D-35641 Schöffengrund (DE)
  • HELLMANN, Claus
    D-22339 Hamburg (DE)

(74) Vertreter: Knefel, Cordula, Dipl.-Phys., et al 
Patentanwälte Knefel & Knefel Postfach 19 24
35529 Wetzlar
35529 Wetzlar (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM TROCKNEN VON DÜNNEN SCHICHTEN SOWIE VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS