(19)
(11) EP 0 935 819 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.08.1999  Patentblatt  1999/33

(21) Anmeldenummer: 98938644.0

(22) Anmeldetag:  25.06.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 27/ 146( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1998/003876
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1999/000848 (07.01.1999 Gazette  1999/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 25.06.1997 DE 19971026910

(71) Anmelder: BÖHM, Markus
57068 Siegen (DE)

(72) Erfinder:
  • BÖHM, Markus
    D-57068 Siegen (DE)
  • RIEVE, Peter
    D-51570 Windeck (DE)

(74) Vertreter: Schippan, Ralph, Dr.-Ing. 
Cohausz & Florack, Kanzlerstrasse 8a
40472 Düsseldorf
40472 Düsseldorf (DE)

   


(54) HYBRIDE TFA-SENSOREN MIT STRAHLUNGSSENSITIVEN ASIC-BAUELEMENTEN